Paper published in a book (Scientific congresses and symposiums)
Effects of the geometrical dimensions on stress and strain of electrostatically actuated MEMS resonators at pull-in and stiction positions
Pustan, Marius; Golinval, Jean-Claude; Rochus, Véronique
2010In EuroSimE 2010
 

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Keywords :
MEMS; Pull-in
Disciplines :
Mechanical engineering
Author, co-author :
Pustan, Marius ;  Université de Liège - ULiège > Département d'aérospatiale et mécanique > LTAS - Vibrations et identification des structures
Golinval, Jean-Claude  ;  Université de Liège - ULiège > Département d'aérospatiale et mécanique > LTAS - Vibrations et identification des structures
Rochus, Véronique ;  Université de Liège - ULiège > Département d'aérospatiale et mécanique > LTAS - Vibrations et identification des structures
Language :
English
Title :
Effects of the geometrical dimensions on stress and strain of electrostatically actuated MEMS resonators at pull-in and stiction positions
Publication date :
2010
By request :
Yes
Audience :
International
Main work title :
EuroSimE 2010
Available on ORBi :
since 28 May 2010

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