Reference : Effects of the geometrical dimensions on stress and strain of electrostatically actuated...

	Document type :	Scientific congresses and symposiums : Paper published in a book
	Discipline(s) :	Engineering, computing & technology : Mechanical engineering
	To cite this reference:	http://hdl.handle.net/2268/58458

Title :	Effects of the geometrical dimensions on stress and strain of electrostatically actuated MEMS resonators at pull-in and stiction positions
Language :	English
Author, co-author :	Pustan, Marius [Université de Liège - ULg > Département d'aérospatiale et mécanique > LTAS - Vibrations et identification des structures >]
	Golinval, Jean-Claude [Université de Liège - ULg > Département d'aérospatiale et mécanique > LTAS - Vibrations et identification des structures >]
	Rochus, Véronique [Université de Liège - ULg > Département d'aérospatiale et mécanique > LTAS - Vibrations et identification des structures >]
Publication date :	2010
Main document title :	EuroSimE 2010
On invitation :	Yes
Audience :	International
Keywords :	[en] MEMS ; Pull-in
Permalink :	http://hdl.handle.net/2268/58458

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