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Paper published in a book (Scientific congresses and symposiums)
Electroplating moulds using dry film thick negative photoresist for MEMS applications
Kukharenka, A.; Kraft, Michael
2002In Proc. Eurosensors XVI Conference
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Disciplines :
Electrical & electronics engineering
Author, co-author :
Kukharenka, A.
Kraft, Michael ;  Université de Liège > Dép. d'électric., électron. et informat. (Inst.Montefiore) > Systèmes microélectroniques intégrés
Language :
English
Title :
Electroplating moulds using dry film thick negative photoresist for MEMS applications
Publication date :
September 2002
Event name :
Proc. Eurosensors XVI Conference
Event place :
Prague, Czechia
Event date :
Septembre 2002
By request :
Yes
Audience :
International
Main work title :
Proc. Eurosensors XVI Conference
Pages :
pp. 103-104
Peer reviewed :
Peer reviewed
Available on ORBi :
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