Reference : A Perturbation Finite Element Technique for Modeling Electrostatic MEMS

	Document type :	Scientific congresses and symposiums : Poster
	Discipline(s) :	Engineering, computing & technology : Electrical & electronics engineering
	To cite this reference:	http://hdl.handle.net/2268/109778

Title :	A Perturbation Finite Element Technique for Modeling Electrostatic MEMS
Language :	English
Author, co-author :	Boutaayamou, Mohamed [Université de Liège - ULg > Dép. d'électric., électron. et informat. (Inst.Montefiore) > Exploitation des signaux et images >]
	Vazquez Sabariego, Ruth [Université de Liège - ULg > Dép. d'électric., électron. et informat. (Inst.Montefiore) > Applied and Computational Electromagnetics (ACE) >]
	Dular, Patrick [Université de Liège - ULg > Dép. d'électric., électron. et informat. (Inst.Montefiore) > Applied and Computational Electromagnetics (ACE) >]
Publication date :	18-Mar-2008
Peer reviewed :	No
Audience :	National
Event name :	MEMS and Nanotechnology through Science and Applications - Scientific Day of NanoWal
Event date :	18 mars 2008
Event organizer :	Université Catholique de Louvain
Event place (city) :	Louvain-la-Neuve
Event country :	Belgique
Keywords :	[en] méthode de perturbation ; méthode des éléments finis ; MEMS ; perturbation method ; finite element method ; MEMS
Research units :	Applied and Computational Electromagnetics (ACE) - Department of Electrical Engineering and Computer Science – University of Liège
Funders :	Communauté française de Belgique - CfB
Name of the research project :	Projet ARC (Convention 03/08-298, “Modélisation, Simulation Multiphysique et Optimisation de Problèmes Couplés - Application aux Micro-Systèmes Électromécaniques (MEMS)”)
Target :	Researchers ; Professionals ; Students
Permalink :	http://hdl.handle.net/2268/109778

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